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每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:可否介紹一下產(chǎn)品薄膜沉積設備應用?
國林科技(300786.SZ)5月26日在投資者互動平臺表示,公司目前研制的高濃度臭氧氣體發(fā)生器設備可用于薄膜沉積工藝的氧化成膜,傳統(tǒng)的薄膜沉積制成方法有三種:PVD、CVD、ALD,PVD屬于物理方法,CVD、ALD主要利用臭氧通過化學反應在硅片表面形成薄膜保護。
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【環(huán)球報資訊】上市公司給股東送禮包不如現(xiàn)金分紅
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